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四探針電阻率測試儀的配置特點(diǎn)和技術(shù)參數(shù)
更新時間:2014-11-27 點(diǎn)擊次數(shù):1746
  

四探針電阻率/方阻測試儀(以下簡稱電阻率測試儀)是用來測量半導(dǎo)體材料(主要是硅單晶、鍺單晶、硅片)電阻率,以及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測量儀器。它主要由電氣測量部份測試架及四探針頭組成。本儀器的特點(diǎn)是主機(jī)配置雙數(shù)字表,在測量電阻率的同時,另一塊數(shù)字表(以萬分之幾的精度)適時監(jiān)測全程的電流變化,免除了測量電流/測量電阻率的轉(zhuǎn)換,更及時掌控測量電流。主機(jī)還提供精度為0.05%的恒流源,使測量電流高度穩(wěn)定。本機(jī)配有恒流源開關(guān),在測量某些箔層材料時,可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發(fā)生,更好地保護(hù)箔膜。儀器配置了本公司的產(chǎn)品:“小游移四探針頭”,探針游移率在0.10.2%。保證了儀器測量電阻率的重復(fù)性和準(zhǔn)確度。

 

    四探針電阻率測試儀如加配HQ-710E數(shù)據(jù)處理器,測量硅片時可自動進(jìn)行厚度、直徑、探針間距的修正,并計算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的zui大百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均。給測量帶來很大方便。

 

四探針電阻率測試儀技術(shù)參數(shù):

(1)測量范圍:  

可測電阻率:0.000119000Ω•cm  

可測方塊電阻:0.0011900Ω•□  

(2)恒流源:  

輸出電流:DC0.001100mA五檔連續(xù)可調(diào)  

量程:0.0010.01mA  

0.010.10mA  

0.101.0mA  

1.010mA  

10100mA  

恒流精度:各檔均低于±0.05%  

(3)直流數(shù)字電壓表:  

測量范圍:0199.99mV  

靈敏度:10μV  

基本誤差:±(0.004%讀數(shù)+0.01%滿度)  

輸出電源:≥1000ΩM

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